VT6000系列共聚焦3d顯微成像系統(tǒng)是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。它是以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。
VT6000高分辨率聚焦顯微鏡自設(shè)計之初,便定下了“簡單好用”四字方針的目標。結(jié)構(gòu)簡單:儀器整體由一臺輕量化的設(shè)備主機和電腦構(gòu)成,控制單元集成在設(shè)備主機之內(nèi),亦可采用筆記本電腦驅(qū)動,實現(xiàn)了“拎著走”的便攜式設(shè)計.
中圖儀器VT6000系列共焦顯微鏡測量儀以共聚焦技術(shù)為原理,具有納米級別的縱向分辨能力,能夠?qū)﹄姵匕褰q面這種表面反射率低且形貌復(fù)雜的樣品進行三維形貌重建。
中圖儀器VT6000系列共聚焦3D成像顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理,用于測量表面物理形貌,進行微納米尺度的三維形貌分析,如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等。是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。
中圖儀器VT6000國產(chǎn)激光共聚焦顯微鏡是以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。
中圖儀器VT6000系列激光共聚焦的顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎(chǔ),結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法,共同組成測量系統(tǒng),保證儀器的高測量精度。在測量漸變較大的高度時,跟其他方法相比,可以更精確量測物體高度,建立3D立體影像。
自設(shè)計之初,VT6000系列3d激光共聚焦形貌顯微鏡便定下了“簡單好用”四字方針的目標。設(shè)備具備一體化操作的測量與分析軟件,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進行測量,軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能,即可快速實現(xiàn)批量測量功能.
VT6000激光共聚焦顯微成像儀配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像,對細節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn)。儀器整體結(jié)構(gòu)簡單,由一臺輕量化的設(shè)備主機和電腦構(gòu)成,控制單元集成在設(shè)備主機之內(nèi),亦可采用筆記本電腦驅(qū)動,實現(xiàn)了“拎著走”的便攜式設(shè)計。
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