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中圖儀器NS系列探針式臺階儀/輪廓/形貌/粗糙度/表面2D測試是一種接觸式表面形貌測量儀器，可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求，樣品適應(yīng)面廣，數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。

NS系列國產(chǎn)臺階儀測量穩(wěn)定高效，儀器采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率，同時，其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。

中圖儀器NS系列亞埃級垂直分辨力臺階儀是一種接觸式表面形貌測量儀器，可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強(qiáng)的優(yōu)勢。

臺階儀高精度薄膜厚度與臺階高度測量軟件包含多個模塊。500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī)，即時進(jìn)行高精度定位測量?？梢詫⑻结樀男蚊矆D像傳輸?shù)娇刂齐娔X上，使得測量更加直觀。

中圖儀器國產(chǎn)臺階儀廠商NS系列臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度，可以準(zhǔn)確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

NS系列臺階儀測量薄膜厚度儀器是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強(qiáng)的優(yōu)勢。

NS系列臺階儀超精密微觀輪廓測量儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強(qiáng)的優(yōu)勢。

臺階儀接觸式表面形貌測量儀器是一種常用的膜厚測量儀器，它是利用光學(xué)干涉原理，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度，具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點。它可以測量各種材料的膜層厚度，包括金屬、陶瓷、塑料等。