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?便攜式激光干涉儀器可以將線性測量結(jié)果生成的誤差補(bǔ)償表，有效地降低運(yùn)動軸的位置誤差。

SJ6000激光干涉測量儀與不同光學(xué)附件結(jié)合，可以測量距離、直線度、垂直度平行度、平面度。由于儀器為模塊化結(jié)構(gòu)，安裝位置靈活，便于分析機(jī)床誤差來源；而且測量時可以在工作部件運(yùn)動過程中自動采集數(shù)據(jù)，更接近機(jī)床的實際使用狀態(tài)。

中圖儀器SJ6000機(jī)床激光干涉儀精度高，抗干擾能力強(qiáng)，空氣湍流、熱波動等影響甚微，不僅能用于實驗室，還可在車間條件下測量大距離用。滿足現(xiàn)在所有類型數(shù)控機(jī)床精度檢測，同時可進(jìn)行動態(tài)高速測量，配以相應(yīng)元件后還可以測量角度、線速度、平面度、振動幅度及速度等。

中圖儀器的平面光學(xué)激光干涉儀產(chǎn)品在測量精度、測量速度、測量類型等方面選擇上，給用戶提供了更多選擇。

中圖儀器金屬平面激光干涉儀品牌可用于精密機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度的測量，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。

?SJ6000便攜式激光干涉儀通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。

SJ6800激光干涉儀國產(chǎn)品牌測量分辨率0.01″，系統(tǒng)測量精度為±1″，基準(zhǔn)WR50自動精密轉(zhuǎn)臺重復(fù)精度為0.2″。主要特點是小巧便攜、功能強(qiáng)、無線操作。具有測量精度高、測量速度快、*高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。

以激光干涉技術(shù)為核心，SJ6000激光干涉儀機(jī)床精度測試的分辨率可達(dá)納米級。有測量機(jī)床回轉(zhuǎn)軸精度、直線度、線性、運(yùn)動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、定位精度、垂直度等檢測功能，且可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，滿足機(jī)床誤差修正的要求。