中圖儀器全自動一米高精度測長儀SJ5160系列超高精度全自動光柵測長機(jī)采用超高精度進(jìn)口長玻璃光柵尺作為長度方向定位，可進(jìn)行符合阿貝原理超高精度全自動測量。自主研發(fā)智能全自動測量功能，用戶操作體驗(yàn)感佳，而且儀器精度測量重復(fù)性30nm，測量重復(fù)性（2S）可達(dá)0.12μm以內(nèi)，外尺寸示值wu差為±（0.07+L/2000）μm。配置高性能超高進(jìn)度螺紋環(huán)規(guī)測量裝置，可測量小螺紋環(huán)規(guī)，同時可完成小的光滑環(huán)規(guī)檢測。其測量力為電子測力，軟件界面內(nèi)可自由設(shè)置，設(shè)置較小測力可用于超薄壁工件測量。

性能特點(diǎn)

高精度、高穩(wěn)定性

1)零膨脹超高精度光柵測量系統(tǒng)，分辨力達(dá)到0.001μm，測量精度高；

2)高精密特制研磨級直線導(dǎo)軌系統(tǒng)，導(dǎo)軌直線度高，導(dǎo)軌材料耐磨性好、保證系統(tǒng)高精度穩(wěn)定可靠的工作；

3)進(jìn)口特殊材料制作的高剛性、無變形測桿，保證測試數(shù)據(jù)的真實(shí)采集；

4)采用高精度穩(wěn)定的大理石基座，保證了在頭座及五軸工作臺的移動過程中不會產(chǎn)生變形以及儀器不受外界震動干擾，保證了儀器的穩(wěn)定可靠；

全自動調(diào)節(jié)雙向高精度電子恒測力系統(tǒng)

1) 全自動調(diào)節(jié)雙向高精度電子恒測力系統(tǒng)，采用特殊及雙向受力彈性結(jié)構(gòu)，測力恒定性好，減小了測力對測量結(jié)果的影響，全自動伺服驅(qū)動控制測力及光柵反饋測力位置，保證了高系統(tǒng)測量重復(fù)性精度；

2) 電子測力通過調(diào)節(jié)桿全自動伺服驅(qū)動系統(tǒng)控制連續(xù)可調(diào)；

電子測力傳感器原理避免了儀器臺面不水平及環(huán)境振動引起的測力變化帶來的測量誤cha。

零測力修正系統(tǒng)

1) 準(zhǔn)確的電子測力技術(shù)，能準(zhǔn)確的讀取到當(dāng)前的；

2) 零測量力修正，根據(jù)被測件測量時的測針、測帽形狀及被測件尺寸進(jìn)行測力變形量修正。

環(huán)境條件

參考環(huán)境溫濕度：

溫度：20±0.5℃，波動度不超過0.2℃/小時

相對濕度：20~60%

校準(zhǔn)室內(nèi)應(yīng)無影響測量的灰塵、震動、噪音、氣流、腐蝕性氣體和較強(qiáng)磁場。

對于長度測量的精度低、穩(wěn)定性差、測量系統(tǒng)操作復(fù)雜、測量功能少、檢測過程復(fù)雜、數(shù)據(jù)不客觀等缺點(diǎn)和不足，SJ5160系列全自動一米高精度測長儀的特點(diǎn)是穩(wěn)定性更強(qiáng)，儀器測量精度更高，及儀器的全自動測量。